RIX半導體行業(yè)用旋轉接頭/單片清洗

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產(chǎn)品名稱: RIX半導體行業(yè)用旋轉接頭/單片清洗

產(chǎn)品型號: 間隙密封MFC型

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

RIX半導體行業(yè)用旋轉接頭/單片清洗間隙密封MFC型，是專為半導體行業(yè)開發(fā)的，用于供應純水和化學溶液。主回路采用非金屬材料，使其成為*大限度減少金屬離子溶入液體的旋轉接頭。

RIX半導體行業(yè)用旋轉接頭/單片清洗 的詳細介紹

RIX半導體行業(yè)用旋轉接頭/單片清洗間隙密封MFC型

規(guī)格：

流體：空氣、真空
*大壓力：-0.095～0.6MPa
*大通路數(shù)：2
*大轉速：6000min-1
主要途徑與其特點：

精磨、粗磨等各種裝置的真空夾緊時使用。
采用特殊的密封構造、不需要外部注水也能高速旋轉。
還有、低扭矩、低密封磨損和顆粒物產(chǎn)生、具備安定密封特性。
應用端設備對象：精磨/粗磨、晶圓清洗裝置、高速旋轉托盤、感光顯像一體機

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