低壓汞燈燈管：低壓燈管可穩定放出波長為254nm與185nm的紫外線。以波長效果所產生的活性氧與波長能量來進行有機物的除去及改質等UV洗凈作業。可用于洗凈液晶玻璃基板的有機物(改善親濕性)，或是用來進行film等的改質。燈管發光長的尺寸由50—2500mm一應俱全，可依照用途來選用：高壓汞燈管、低壓汞燈管、金屬鹵素燈管、可視光金屬鹵素燈管、石英洗凈燈等等。
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