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真空設備

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產品名稱: 真空設備
產品型號: HSV-3-30G
產品廠商: 巖瀨商事
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

佐藤真空

真空設備  的詳細介紹

本シリーズは研究開発用、及び小ロット生産用の抵抗加熱式小型蒸著裝置です。また、本シリーズの一部機種には電子ビーム（ＥＢ）の搭載も可能です。

真空蒸著裝置
真空蒸著裝置
真空蒸著裝置

主仕様

型　　式 HSV-3-30G HSV-8-50 HSV-12-80
到達圧力 ×10-3Pa ×10-4Pa
基板加熱溫度 - Max 300℃
蒸発源（電極） 2対 10V Max150A 2対 20V Max200A
バルブ操作 手動 自動 手動 自動 手動
真空槽 φ300×H300mm
透明ガラス 		φ500×H500mm（水冷式）
SUS 304 		φ800×H700mm（水冷式）/前扉式
SUS 304
回転機構 - 公転機構 自公転機構
內部機構 シャッター機構、抵抗加熱機構 シャッター機構，加熱ヒーター,抵抗加熱機構
主ポンプ 油拡散3inches 油拡散8inches 油拡散12inches又はクライオ
補助ポンプ 150L/min 500L/min 1500L/min
主バルブ 3inches 8inches 12inches
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