真空設(shè)備

點(diǎn)擊看大圖

如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以

產(chǎn)品名稱: 真空設(shè)備

產(chǎn)品型號(hào): TPS

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

佐藤真空

真空設(shè)備 的詳細(xì)介紹

高真空での各種実験?開(kāi)発?生産プロセスに対応。

■空冷式により水配管不要、保守の負(fù)擔(dān)を軽減。

■場(chǎng)所を選ばない100V 電源。

■メインフレーム?ベースにアルミを採(cǎi)用、軽量化を?qū)g現(xiàn)。

■使いやすさを追求したコンパクト設(shè)計(jì)。

高真空での各種実験?開(kāi)発?生産プロセスに対応。

■空冷式により水配管不要、保守の負(fù)擔(dān)を軽減。

■場(chǎng)所を選ばない100V 電源。

■メインフレーム?ベースにアルミを採(cǎi)用、軽量化を?qū)g現(xiàn)。

■使いやすさを追求したコンパクト設(shè)計(jì)。

ターボ分子ポンプ排気システム<TPS>タイプ

● 補(bǔ)助ポンプをダイアフラム型ドライ真空ポンプ、またはスクロール型ドライ真空ポンプと組み合わせてフルドライの排気系を?qū)g現(xiàn)可能。

● 起動(dòng)?停止に要する時(shí)間が短い。

● 不意の大気導(dǎo)入にも強(qiáng)い構(gòu)造のターボ分子ポンプを採(cǎi)用。

（注）故意に大気導(dǎo)入を繰返しますと故障の原因となります。

油拡散ポンプ排気システム＜DPS＞タイプ

● より低コストで高真空雰囲気を得られます。

● 三方弁の切替機(jī)能により、補(bǔ)助ポンプのみの単獨(dú)排気運(yùn)転も可能。

● 保守點(diǎn)検が容易。

<TPS>タイプ

型　　式	TPS-50ZA	TPS-50ZB	TPS-50ZC	TPS-220ZA	TPA-220ZB	TPS-220ZC
ターボ分子ポンプ	50L/s			220L/s
補(bǔ)助ポンプ	DW-60	USW-50N	MZ-2CNT	DW-120	USW-100N	ISP-250C
到達(dá)圧力	×10^-5Pa^*1		×10^-3Pa^*1	×10^-5Pa^*1		×10^-4Pa^*1
起動(dòng)/停止時(shí)間	3/3min^*2			2.2/3.5min^*2
吸気口徑	VG-65			VG-100
所要電力（AC）	100V 15A
質(zhì)量	約51kg	約55kg	約45kg	約56kg	約59kg	約70kg
外形寸法 (W×D×Hmm)	600×400×700	600×400×750	600×400×700	600×400×730	600×400×800	600×400×850

<DPS>タイプ

型　　式	DPS-2-ZA	DPS-2-ZB	DPS-3-ZA	DPS-3-ZB	DPS-4-ZA	DPS-4-ZB
油拡散ポンプ	58L/s		150L/s		215L/s
補(bǔ)助ポンプ	DW-60	USW-50N	DW-120	USW-100N	DW-120	USW-150N
到達(dá)圧力	×10^-4Pa^*3
起動(dòng)時(shí)間	17min^*2		22min^*2
吸気口徑	VF-50		VF-80		VF-100
所要電力（AC）	100V 15A		100V 15A×2^*4
質(zhì)量	約57kg	約60kg	約68kg	約70kg	約70kg	約80kg
外形寸法 (W×D×Hmm)	600×400×935		600×400×995	600×400×1095	600×400×1030	600×400×1130

＊ 1. ターボ分子ポンプをベーキング?ガス出し後、ポンプヘッドでの値です。
＊ 2. 起動(dòng)時(shí)間は吸気口閉め切りでの値です。チャンバー容量により時(shí)間が異なります。
＊ 3. 吸気口閉め切りでの値です。
＊ 4. 補(bǔ)助ポンプとメインポンプ用として、別々の電源プラグ(2 本）があります。
＊お客様の使い勝手?仕様に合わせて、各種オプション部品を組込みセットアップする特注バージョンも製作いたしま

產(chǎn)品留言

標(biāo)題

聯(lián)系人

聯(lián)系電話

內(nèi)容

驗(yàn)證碼